制作电脑芯片的材料为高纯硅，工业上制造高纯硅的基本流程如图1所示（某些反应过程中的部分物质没有在图中标出）：

（1）SiHCl₃中Cl元素的化合价为﹣1价，则Si元素的化合价为　　。

（2）硅原子的结构示意图如图2所示，硅原子的核电荷数为　　。

（3）第①步至第④步的变化中，属于物理变化的是第　　步。

（4）第④步反应，除生成纯硅以外，还有HCl生成。写出第④步反应的化学方程式　　。