Si是重要的半导体材料,半导体工业中有一句行话“从沙滩到用户”,指的是利用沙子(主要成分SiO2)制取高纯度的Si.已知硅与碳有相似的化学性质,SiHCl3(三氯氢硅)能与水反应,其工艺流程和主要化学反应如图:
①2C+SiO2Si(不纯)+2CO↑
②3HCl+Si(不纯)SiHCl3+H2
③SiHCl3+H23HCl+Si(高纯)
下列说法不正确的是( )
A.①的目的是将二氧化硅转化为单质硅
B.物质A可循环利用
C.整个制备过程必须达到无水无氧
D.反应③中SiHCl3是还原剂
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