高纯硅是信息产业最基础的原材料，制备高纯硅的主要生产过程如下：
【资料】①石英砂的主要成分是SiO₂ ②生产过程中涉及到的反应均为置换反应

（1）SiO₂中Si的化合价是____________。
（2）从SiHCl₃（纯）得到高纯硅的化学方程式是_________________________________。
（3）生产过程中可循环使用的物质是____________。